NF X21-061-2008 表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定

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                   【英文标准名称】:     Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution.            【原文标准名称】:     表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定            【标准号】:     NF X21-061-2008            【标准状态】:     现行            【国别】:     法国            【发布日期】:     2008-04-01    【实施或试行日期】: 2008-04-05【发布单位】: 法国标准化协会(AFNOR)【起草单位】: 【标准类型】: ()【标准水平】: ()【中文主题词】: 螺旋电子光谱法;化学分析和试验;数据分析;定义;精整;测量;光电子的;定量分析;光谱测定法;光谱学;平尺;表面化学;表面;X射线光度法【英文主题词】: Auger electron spectroscopy;Chemical analysis and testing;Data analysis;Definition;Definitions;Finishes;Measurementhotoelectronics;Quantitative analysis;Spectrometry;Spectroscopy;Straightedges;Surface chemistry;Surfaces;X-ray spectrometry【摘要】: 【中国标准分类号】: A43【国际标准分类号】: 71_040_50【页数】: 31P;A4【正文语种】: 其他