NF X21-062-2008 表面化学分析.溅射深度剖析.层状膜系作为参考物质的优化方法
【英文标准名称】: Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials. 【原文标准名称】: 表面化学分析.溅射深度剖析.层状膜系作为参考物质的优化方法 【标准号】: NF X21-062-2008 【标准状态】: 现行 【国别】: 法国 【发布日期】: 2008-04-01 【实施或试行日期】: 2008-04-05【发布单位】: 法国标准化协会(AFNOR)【起草单位】: 【标准类型】: ()【标准水平】: ()【中文主题词】: 雾化;化学分析和试验;定义;深度剖面;含量测定;电子光谱法;精整;离子束;层;最优化;参考材料;X射线光度法【英文主题词】: Atomization;Chemical analysis and testing;Definition;Definitions;Depth profile;Determination of content;Electron spectroscopy;Finishes;Ion beams;Layers;Optimization;Reference materials;X-ray spectrometry【摘要】: 【中国标准分类号】: A43【国际标准分类号】: 71_040_40【页数】: 23P;A4【正文语种】: 其他
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